用处：
Etch, Implant, HDP-CVD, SACVD, MOCVD, PECVD, LPCVD, ALD
特点：
IPH系列螺杆真空泵可能在宽泛的利用领域提供良好的机能，，， ，，，合用于严苛造程。。。。。 。
它良好的机能源自于转子排气蹊径和优越的转子型线设计。。。。。 。
NG28.com怪异型线设计，，， ，，，上海，，， ，，，台湾，，， ，，，造作。。。。。 。
较之前的版本节能25%，，， ，，，配置有省电模式。。。。。 。
带有加热系统预防造程物沉积。。。。。 。
优化的尺寸，，， ，，，即插即用。。。。。 。
